[18a-D209-1~14] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[18a-D209-5] Measurement of trace moisture in He gas using a miniaturized CRDS-based trace-moisture analyzer

〇Hisashi Abe¹, Minami Amano¹, Koji Hashiguchi¹, Daniel Lisak², Shinichi Honda³, Tomoki Miyake³ (1.AIST, 2.Copernicus Univ., 3.SHINYEI Technology)

Keywords:humidity, semiconductor

キャビティリングダウン分光法(CRDS)は光共振器を用いた超高感度なレーザー吸収分光法である。さまざまな計測現場でこの手法をより活用しやくするため、私たちはCRDSの小型化の研究を行っている。小型化に伴う課題の一つに分解能の低下があり、これによって線幅の細い吸収線では測定が困難となる。この問題に対応するため、キャビティ長を熱膨張・収縮によって変化させ、共振周波数を周波数軸上で変化させることで分解能を向上させた。