[18p-B401-1~13] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18p-B401-2] マルチ・スパッタアニール法による多層極性反転AlN構造の作製

〇玉野 智大¹、正直 花奈子^2,3、本田 啓人³、上杉 謙次郎^4,5、肖 世玉²、上向井 正裕³、谷川 智之³、片山 竜二³、三宅 秀人² (1.三重大工、2.三重大院工、3.阪大院工、4.三重大共創機構、5.三重大院地域イノベ)

キーワード：窒化アルミニウム、スパッタ、多層極性反転