講演特集：金属ガラス・ナノ結晶材料および高エントロピー合金の構造制御と応用に関する新たな展開

[3-34A] 球形金属ガラス粒子の粘性流動成形加工によるマイクロダイヤフラムの作製

*吉年 規治¹、伊佐野 はるか²、山田 類³、菊池 圭子⁴、野村 直之⁴、川崎 亮⁴ (1. 東北大学金属材料研究所、2. 東北大学工学部、3. 東北大学学際科学フロンティア研究所、4. 東北大学大学院工学研究科)

キーワード：金属ガラス、粘性流動成形加工、単分散粒子、微小部品