粉体粉末冶金協会2023年度秋季大会(第132回講演大会)

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講演特集 » DX/GX時代の電子部品材料開発

DX/GX時代の電子部品材料開発

2023年10月20日(金) 09:00 〜 10:20 第Ⅱ会場 (クローバーホール)

座長:川口 建二(産業技術総合研究所)

09:55 〜 10:10

[2-27A] エアロゾルデポジション法による複合膜の組成制御

*中園 大聖1、タン ワイキアン1、横井 敦史2、河村 剛1、松田 厚範1、武藤 浩行1 (1. 豊橋技術科学大学、2. 沼津工業高等専門学校) (※この発表者は優秀講演発表賞の対象者です。)

キーワード:エアロゾルデポジション法、複合膜、複合粒子

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