ISSP2024の紹介 (13:00 〜 13:15)
セッション情報
部会セッション
[3Cp01-06] ISSP2024 pre-session - A new dawn of sputtering and plasma processes: Sputtering and Plasma Processes Division's Session
2023年11月2日(木) 13:00 〜 16:10 大会議室234 (3階)
Chair:小寺 恭介(株式会社昭和真空)、加藤 和広(三菱マテリアル株式会社)
13:15 〜 13:45
*Kunio Okimura1 (1. School of Engineering, Tokai University)
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13:45 〜 14:05
*Yuya Takahashi1, Naoto Saito1, Kazuhiro Hikida2, Sohei Nonaka2, Tetsuhide Shimizu1 (1. Tokyo Metropolitan University, 2. Mitsubishi Materials Corporation)
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14:05 〜 14:25
*Masahiko Inoue1, daisuke takayama1, daisuke hiro1, toshihiro taguchi2, yuma karaki3, sangwoon park1 (1. Graduate School of Science and Technology, Setsunan University, 2. Japan Atomic Energy Agency, 3. Nara Institute of Science and Technology)
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休憩時間 (14:25 〜 14:40)
14:40 〜 15:10
*Grzegorz Greczynski1, Ivan Petrov2, Lars Hultman1 (1. Thin Film Physics Division, Department of Physics (IFM), Linköping University, 2. Frederick Seitz Materials Research Laboratory, University of Illinois, Urbana, Illinois (USA))
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15:10 〜 15:40
*Ivan Fernandez1 (1. NANO4ENERGY SLNE)
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閉会 (15:40 〜 16:10)