The 24th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2023)

講演情報

Oral Presentation

Oral Presentations

Session 40: Process monitoring and control 2

2023年6月16日(金) 11:00 〜 12:20 Room 4 (2F Meeting Room #6)

Session Chairs:Daisuke Nakamura(Kyushu University, Japan)

11:40 〜 12:00

[R4-S40-3] Fast determination of beam properties of ultrafast lasers during materials processing using spectral X-ray measurements

*Julian Holland1, Christian Hagenlocher1, Rudolf Weber1, Thomas Graf1 (1. Institut für Strahlwerkzeuge Uni Stuttgart (IFSW) (Germany))

キーワード:X-ray, ultrafast laser, diagnostics, spectroscopy, laser safety

C000079

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