Wet etching of silicon wafer using vertically grown structures as mask

講演情報

Poster Session

[PT04] Membranes and LB films

2019年11月6日(水) 10:10 〜 12:10 Poster

Room A

*Misa Katagiri¹, Ken-ichi Iimura¹ (1. Utsunomiya University (Japan))

キーワード：wet etching, self-organization, surfactant

抄録パスワード認証
抄録の閲覧にはパスワードが必要です。パスワードを入力して認証してください。