[21P] ポスター1

[21P-79] ヘリウム照射ブラック・シリコンの興味深い表面ナノ構造形成とその光学的・電子的特性

*髙村 秀一¹、菊池 祐介²、青田 達也³、前中 志郎³、藤田 和宣³、上杉 喜彦⁴、岩田 博之⁵ (1. 愛工大総研、2. 兵庫県大院工、3. ユメックス、4. 金沢大電子情報、5. 愛工大工)