[21P] ポスター1

[21P-80] アークイオンプレーティング蒸発源におけるイオン軌道におよぼすロスコーン角および放出角の検討

*佐々木 慶太¹、高橋 一匡¹、佐々木 徹¹、菊池 崇志¹、水野 雅夫²、奈良井 哲²、山本 兼司² (1. 長岡技科大、2. 神戸製鋼)