Plasma Conference 2017

講演情報

口頭発表

[23Ga] セッション17 材料・ナノテク

2017年11月23日(木) 09:00 〜 11:30 G会場 (7F 702)

座長:梶田 信(名大)

10:40 〜 11:10

[23Ga-06] 逆SKモードを利用した超高品質スパッタエピタキシー

*板垣 奈穂1 (1. 九大システム情報)

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