15:40 〜 16:00
[Session_4-02] A Boltzmann Transport Equation Model for Substrate Damage During Focused Helium Ion Beam Fabrication of Nanostructures
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講演情報
Oral
[Session 4] Process Simulation
2023年9月27日(水) 15:20 〜 17:00 Hall B
Chair: Nobuhiko Nakano (Keio Univ.), Junichi Hattori (AIST)