[18p-C11-1~14] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[18p-C11-7] MOVPE選択成長法によるポリシリコン薄膜上のGaAsナノワイヤの作製と評価 (II)

池尻圭太郎¹，石坂文哉¹，冨岡克広^1,2，^○福井孝志¹ (北大情報科学研究科¹，JSTさきがけ²)

キーワード：ナノワイヤ,GaAs,MOVPE