[27p-PB4-1~16] 13.5 Siプロセス技術

[27p-PB4-11] シリコン中に共注入した炭素がホウ素活性化に与える影響 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○清水康雄¹，高見澤悠¹，井上耕治¹，矢野史子^1,2，永井康介¹ (東北大金研¹，東京都市大²)

キーワード：アトムプローブ、炭素、共注入