2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.5 Siプロセス技術

[28a-G6-1~11] 13.5 Siプロセス技術

2013年3月28日(木) 10:00 〜 12:45 G6 (B5号館 1F-2106)

[28a-G6-7] 周波数変調出力方式の薄膜フォトセンサ (11:30 AM ~ 11:45 AM)

門目尭之,松村篤,東山剛士,大山翔平,松田時宜,木村睦 (龍谷大理工)

キーワード:薄膜フォトセンサ、周波数変調出力方式