[28p-A4-1~20] 16.3 シリコン系太陽電池

[28p-A4-1] スパッタ成膜する薄膜太陽電池用AZO透明電極の表面テクスチャ構造形成技術の検討 (1:30 PM ～ 1:45 PM)

^○野本淳一，山中俊憲，宮田俊弘，南内嗣 (金沢工大　OEDS R&Dセンター)

キーワード：透明導電膜、ZnO