[28p-G20-1~16] 半導体量子ドット成長技術・物性評価の最前線

[28p-G20-10] SPM酸化を用いて作製したシリコン・テンプレートと量子ドット位置制御 (4:45 PM ～ 5:00 PM)

^○酒井鉄平¹，中嶋聖介^1,2，向井剛輝¹ (横浜国大工¹，理研²)

キーワード：量子ドットの位置制御、SPM陽極酸化、量子回路