[29p-G16-1~21] 15.8 結晶評価，ナノ不純物・結晶欠陥

[29p-G16-1] シリコン結晶中点欠陥発生分布のシミュレーション結果に対する反論 (1:30 PM ～ 1:45 PM)

^○阿部孝夫¹，高橋徹¹，白井光雲² (信越半導体¹，阪大²)

キーワード：シリコン結晶中の点欠陥