2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

08．プラズマエレクトロニクス » 8. プラズマエレクトロニクス(ポスター講演)

[29p-PA1-1~17] 8. プラズマエレクトロニクス

2013年3月29日(金) 13:30 〜 15:30 PA1 (第一体育館)

[29p-PA1-6] Silicon cluster volume fraction of silicon thin films prepared by multi-hollow plasma discharge CVD (1:30 PM ～ 3:30 PM) (8.3)

○金淵元，Kosuke Hatozaki，Yuji Hashimoto，Hyunwoong Seo，Kunihiro Kamataki，Giichiro Uchida，Naho Itagaki，Kazunori Koga，Masaharu Shiratani (九大)

キーワード：CVD、silicon cluster、silicon thin film