[18p-A14-1~18] 7.6 イオンビーム一般

[18p-A14-7] C_nH_2n+1⁺イオンビームを照射したシリコン基板の照射損傷評価

^○林恭平，竹内光明，龍頭啓充，高岡義寛 (京大光・電子理工セ)

キーワード：テトラデカン