2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

14.半導体B(探索的材料・物性・デバイス) » 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[19p-PB2-1~19] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

2014年9月19日(金) 13:30 〜 15:30 PB2 (第2体育館)

ポスター掲示時間13:30~15:30(PB2会場)

13:30 〜 15:30

[19p-PB2-4] ドレインコンダクタンスDLTS測定によるSi基板上AlGaN/GaN HEMTのトラップ評価

宮本一輝1,徳田豊1,上田博之2,勝野高志2,加地徹2 (愛知工大1,豊田中央研究所2)

キーワード:HEMT,AlGaN