2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

7 ビーム応用 » 7.6 イオンビーム一般

[14p-4E-1~21] 7.6 イオンビーム一般

2015年9月14日(月) 12:30 〜 18:15 4E (437)

座長:阿保 智(阪大),瀬木 利夫(京大),柳沢 淳一(滋賀県立大)

12:45 〜 13:00

[14p-4E-2] イオン液体イオンビームにより形成したC-N薄膜の基板温度依存性

〇星出 優輝1、竹内 光明1、龍頭 啓允1、高岡 義寛1 (1.京大工)

キーワード:イオンビーム、イオン液体