[12a-A21-1~13] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

△ [12a-A21-5] 自立基板の劈開面に形成したn-GaNショットキー接触の評価

〇永縄 萌¹、青木 俊周¹、吉田 丈洋²、三島 友義^{2, 3}、塩島 謙次¹ (1.福井大院工, 2.日立金属(株), 3.法政大学)

キーワード：劈開面、n-GaN ショットキー接触、m面