[15p-B5-1~19] 7.2 電子ビーム応用

[15p-B5-12] ボルケーノ構造スピント型Niフィールドエミッタアレイの長時間動作

〇長尾 昌善¹、後藤 康仁²、三村 秀典³、根尾 陽一郎³、クンプアン ソマワン^1,4、原 史朗^1,4 (1.産総研、2.京大院工、3.静大電研、4.ミニマルファブ)

キーワード：フィールドエミッタアレイ、ミニマルファブ、安定性

耐放射線イメージセンサを目指して、ボルケーノ構造のフィールドエミッタアレイの開発を行っている。ボルケーノ構造は電子ビームの集束特性が良いが、その構造を作製するために、エミッタ材料としてNiを選んだ。今回Ni FEAの長時間電流変動を調べたので報告する。