2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[16a-D61-1~11] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2016年9月16日(金) 09:00 〜 11:45 D61 (万代島ビル6階D1)

佐道 泰造(九大)

09:30 〜 09:45

[16a-D61-3] 貼り合わせ法による高引っ張り歪みGe-on-Quartz(GOQ)基板の作製

設楽 那由太1、馬場 俊介1、徐 学俊1、澤野 憲太郎1、丸泉 琢也1 (1.都市大総研)

キーワード:石英基板