[16p-P3-1~2] 8.5 プラズマナノテクノロジー

[16p-P3-1] 反応性ガス環境における斜入射蒸着およびスパッタリング膜の
微細構造シミュレーション

〇(M2)仲尾 昌浩¹、井上 泰志¹、高井 治² (1.千葉工大工、2.関東学院大)

キーワード：シミュレーション、斜め堆積、反応性蒸着