13:30 〜 15:30 [16p-P3-1] 反応性ガス環境における斜入射蒸着およびスパッタリング膜の微細構造シミュレーション 〇(M2)仲尾 昌浩1、井上 泰志1、高井 治2 (1.千葉工大工、2.関東学院大)