[20p-H103-1~21] 6.2 カーボン系薄膜

[20p-H103-19] Al膜上に堆積したSiO₂/a-CN_x:H多層膜からの電界電子放出

〇木下 治久¹、村山 翼¹、松本 健¹ (1.静大院工)

キーワード：スーパーマグネトロンプラズマ

パルス放電するスーパーマグネトロンプラズマを用いて電界電子放出用の非晶質窒化炭素（a-CN_x:H）膜をAl膜上に堆積し、電界電子放出素子を作製した。このa-CN_x:H膜は専ら電子を輸送する性質を有し、面電子源として用いられている。この研究においては、Al膜上にa-CN_x:H膜、更にその上にSiO₂膜を堆積して電界電子放出特性を比較検討した。