[20p-H137-1~15] 7.5 イオンビーム一般

[20p-H137-7] 低真空クラスターSIMS分析技術の開発

〇鈴木 敢士¹、草刈 将一¹、藤井 麻樹子¹、瀬木 利夫¹、青木 学聡¹、松尾 二郎¹ (1.京大院工)

キーワード：二次イオン質量分析法、ガスクラスターイオンビーム