09:30 〜 11:30 [8a-PA4-27] Siドープβ-Ga2O3薄膜に対する活性化エネルギーの評価 〇井藤 聡詞1、仲林 裕司2、Antoro Iwan1、川江 健1 (1.金沢大学、2.北陸先端大学)