[5p-PB7-1~8] 1.6 超音波

[5p-PB7-4] 水負荷圧電基板上の漏洩弾性表面波の伝搬特性

〇末永 凌大¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、大橋 雄二²、荒川 元孝²、櫛引 淳一² (1.山梨大学、2.東北大学)

キーワード：弾性表面波、LFB音波顕微鏡

本報告では，送受のすだれ状電極(IDT)を用いて，水負荷圧電基板上の漏洩弾性表面(LeakySAW: LSAW)の伝搬損失から，水への漏洩損失の計算値を差し引くことによって試料の音響損失を評価した．水への漏洩損失の小さなモードを用いることで評価した結果は，試料の音響損失に相当するRSAWの伝搬損失に概ね一致することを確認した．