[5p-S44-1~10] 【CS.9】7.1 X線技術と7.4 量子ビーム界面構造計測のコードシェアセッション

[5p-S44-9] 原子層堆積法によるシリコン X 線微細孔工学系の Pt 膜付け加工

〇武内 数馬¹、江副 祐一郎¹、石川 久美²、沼澤 正樹¹、寺田 優¹、伊師 大貴¹、藤谷 麻衣子¹、糸山 隆仁¹、大坪 亮太¹、福島 碧都¹、Sowa Mark J.³、大橋 隆哉¹、満田 和久² (1.首都大、2.宇宙研、3.Ultratech)

キーワード：X線光学系、原子層堆積法、マイクロポアオプティクス