[5p-S44-1~10] 【CS.9】7.1 & 7.4 Code-sharing session

[5p-S44-10] Evaluation of mirror alignment error of MEMS X-ray optics

〇Masaru Terada¹, Masaki Numazawa¹, Yuichiro Ezoe¹, Kazuma Takeuchi¹, Daiki Ishi¹, Maiko Fujitani¹, Takaya Ohashi¹, Kumi Ishikawa², Kazuhisa Mitsuda², Kohei Morishita³ (1.Tokyo Metropolitan Univ., 2.JAXA, 3.Kyoto Univ.)

Keywords:Xray, telescope, silicon

我々は MEMS 技術を利用した X 線望遠鏡を開発している。 Si 基板に、穴幅 20 μm の曲面微細穴を開け、球面に変形してX 線を集光する。 球面変形は鏡の配置精度に直結するため重要だが、穴が微細で回折を避けるために平行 X 線を照射して評価する必要があった。そこで新たにレーザー顕微鏡での表面形状測定によって配置精度を見積もる手法を開発し、これが有用であることが示唆された。従来に比べ測定のスピードを早めることができる。