[7p-A413-1~9] 8.1 プラズマ生成・制御

[7p-A413-9] 窒素ブーストによる大気圧熱プラズマジェットの超ハイパワー化

〇花房 宏明¹、中島 涼介¹、東 清一郎¹ (1.広島大院先端研)

キーワード：大気圧熱プラズマ、窒素ブースト

我々はこれまでに薄膜Siの溶融結晶化やSiC中の不純物活性化など大気圧熱プラズマジェット(TPJ)を用いた様々な高速および高温の熱処理研究に取り組んできた。さらなる高速高温熱処理領域を開拓するため、プラズマ励起ガスのArに窒素を添加することでTPJの高出力化を試みた。その結果、大幅な熱伝達効率の上昇を実現し、パワー密度125 kW/cm²を達成した。