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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス／集積化技術

[8p-C18-1~8] 13.5 デバイス／集積化技術

6.1と13.3と13.5のコードシェアセッションあり

2017年9月8日(金) 13:45 〜 16:00 C18 (C18)

高橋庸夫(北大)

15:15 〜 15:30

[8p-C18-6] 酸化セリウムを用いたMIMキャパシタの電気特性評価

〇高久淑考¹、宗田伊理也¹、星井拓也¹、若林整¹、筒井一生¹、岩井洋²、角嶋邦之¹ (1.東工大、2.東工大研究院)

キーワード：酸化セリウム、MIMキャパシタ