[14a-512-1~11] 3.7 レーザープロセシング

[14a-512-10] ポリカーボネート上シリコーン膜表面に形成したF₂レーザー誘起SiO₂改質膜のクラック抑制（２）

〇野尻 秀智^1,2、大越 昌幸¹ (1.防衛大、2.レニアス)

キーワード：フッ素レーザー、シリコーン、ポリカーボネート

ポリカーボネート上に塗布したシリコーン樹脂に、F₂レーザーを照射してSiO₂を形成する際に、メッシュマスクを用いて照射エリアを細分化することによりクラックを抑制できたが、100℃ 3 hの加熱試験を実施すると照射端部にクラックが多数発生した。加熱試験を行う前にレーザーが照射された表面をスチールウールで擦ることにより、クラックを著しく低減できることがわかった。表面付近に生じた強い引張応力が、スチールウールの擦傷により緩和されたと考えられる。