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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[14p-318-1~9] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

2017年3月14日(火) 13:45 〜 16:00 318 (318)

黒澤昌志(名大)

14:15 〜 14:30

△ [14p-318-3] 固相成長による単結晶Si基板上への結晶SiGe薄膜のエピタキシャル成長に関する検討(Ⅱ)

〇(M2)ハムドアラー¹、金子哲也¹、磯村雅夫¹ (1.東海大院工)

キーワード：エピタキシャル成長、SiGe、Si基板