[14p-502-1~15] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[14p-502-5] (001)β-Ga₂O₃ショットキーバリアダイオードのリーク電流と結晶欠陥との関係

〇橋口 明広¹、森林 朋也¹、大島 孝仁¹、大石 敏之¹、輿 公祥²、佐々木 公平²、倉又 朗人²、上田 修³、嘉数 誠¹ (1.佐賀大院工、2.タムラ製作所、3.金沢工大)

キーワード：酸化ガリウム