2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

13 半導体 » 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[15p-P13-1~11] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

2017年3月15日(水) 16:00 〜 18:00 P13 (展示ホールB)

16:00 〜 18:00

[15p-P13-10] 光熱拡散法における3C-SiCの不純物濃度の影響

鎌田 隼1、武市 慎矢2、香西 貴典2、藤原 健志2、小西 智也2、岡本 敏弘1、原口 雅宣1、釜野 勝2 (1.徳島大学、2.阿南工業高等専門学校)

キーワード:SiC