[17a-419-1~12] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[17a-419-4] 強誘電体PbTiO₃をチャネルとした電気二重層トランジスタの作製

〇西野 隆太郎¹、打田 正輝¹、小塚 裕介¹、岩佐 義宏^1,2、川﨑 雅司^1,2 (1.東大院工、2.理研CEMS)

キーワード：強誘電体、PbTiO3、電気二重層トランジスタ

結晶中に伝導電子が存在する場合、電荷の偏りに起因する誘電分極は電子のスクリーニング効果によって発生しない。そのため強誘電体は多くの場合絶縁体である。しかしながら近年、極性金属LiOsO₃の発見のなど、強誘電性と伝導性の共存状態について関心が持たれている。本研究では10¹⁴cm^-2以上のキャリアの蓄積を可能とする電気二重層トランジスタの手法を用いて、強誘電体PbTiO₃薄膜表面にキャリアドーピングを行い、電気伝導性の制御を試みた。