[18p-212B-1~11] 【CS.8】 7.4 量子ビーム界面構造計測, 9.5 新機能材料・新物性のコードシェアセッション

[18p-212B-9] 多層膜構造解析に向けたホログラフィック斜入射蛍光X線分析法の実行性評価

〇大河内 隆邦¹、林 好一¹、山崎 敏正¹ (1.名工大院工)

キーワード：多層膜、X線ホログラフィー、斜入射蛍光X線