[18p-PA6-1~30] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[18p-PA6-20] GaN(0001)自然酸化膜の複合的評価

〇色川 芳宏¹、鈴木 拓¹、弓削 雅津也¹、大井 暁彦¹、生田目 俊秀¹、木本 浩司¹、大西 剛¹、三石 和貴¹、小出 康夫¹ (1.物質・材料研究機構)

キーワード：窒化ガリウム、自然酸化膜

GaNをデバイス応用する際に、洗浄して自然酸化膜を除去することは重要な工程となる。しかしながら、現状ではGaNの洗浄法は標準化されておらず、自然酸化膜に関する知見も十分に得られていない。本研究では、GaN(0001)自然酸化膜に対して複合的な評価を行ない、主にその構造的情報を明らかにした。