11:00 〜 11:15 [20a-C101-7] ゲートファーストプロセスによるサブミクロンゲートミニマルSOI-CMOS作製 〇柳 永シュン1、佐藤 和重2、田中 宏幸1,2、古賀 和博2、クンプアン ソマワン1,2、長尾 昌善1、松川 貴1、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)