18:00 〜 18:15 [18p-D103-18] 多機能走査型プローブ顕微鏡によるSiC-ショットキーバリアダイオードの評価 〇内田 悠貴1、五十嵐 貴紀1、國米 凱1、中島 瑞貴1、佐藤 宣夫1、山本 秀和1 (1.千葉工大工)