13:30 〜 15:30 [17p-P8-7] Zn拡散ソースInGaAs TFETにおけるW/ZrO2/Al2O3ゲートスタックの効果 〇(D)安 大煥1、尹 尚希1、竹中 充1、高木 信一1 (1.東大院工)