[17p-P12-1~27] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[17p-P12-17] GaN 中への窒素による Mg のリコイルインプランテーションの試み(2)

〇山田 寿一¹、山田 永¹、田岡 紀之¹、高橋 言緒¹、清水 三聡¹ (1.産総研GaN-OIL)

キーワード：GaN、リコイル、インプランテーション