[20a-A402-1~11] 3.9 テラヘルツ全般

[20a-A402-4] 3Dプリンティングと超臨界流体薄膜堆積法による金属コーティングを活用した3次元テラヘルツデバイス作製

趙 ユウ¹、森下 広隆²、小西 邦昭³、安河内 裕之³、添田 建太郎³、湯本 潤司³、五神 真³、下山 裕介¹、霜垣 幸浩¹、〇百瀬 健¹ (1.東大院工、2.東大工、3.東大院理)

キーワード：超臨界流体薄膜堆積法、3次元テラヘルツデバイス、3Dプリンター

3Dプリンタにより作製した微細ポリマー三次元構造に金属薄膜をコートし3次元テラヘルツデバイスを自在に作製する手法を開発した。中でも，高アスペクト比3次元構造内への薄膜形成が可能な超臨界流体薄膜堆積法(SCFD)を活用することが重要であり，プロセス詳細と共に作製したテラヘルツデバイスを報告する。