16:00 〜 18:00 △ [18p-PA5-21] 一軸加圧熱処理によるエピタキシャルTixOy薄膜の構造・特性制御 〇(M1)生田 貴大1、堀松 芳樹1、金子 智2,1、松田 晃史1、吉本 護1 (1.東工大物質理工、2.神奈川県産技総研)