13:30 〜 13:45 [20p-E314-1] DLTS法によるRPD誘起欠陥の欠陥特性評価 〇(M2)原 知彦1、脇田 陸1、磯貝 勇樹1、神岡 武文1,2、大下 祥雄1 (1.豊田工大、2.明治大)