[21a-B31-1~8] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[21a-B31-1] 透明導電性多結晶酸化物薄膜の粒界がキャリア輸送に及ぼす影響

〇南 内嗣¹ (1.金沢工大　OEDS R&D センター)

キーワード：透明導電膜、電気伝導機構、粒界散乱

縮退したAl添加ZnO(AZO)薄膜におけるホール移動度(μ^Hall)の温度依存性（この依存性はnにも影響される）をMunozらの理論を使って検討する．縮退を考慮した熱放出による粒界散乱（Setoの理論）をMunozらの理論に導入してμ^Munozを理論的に計算した結果，AZO透明導電膜の実験結果（μ_Hallの温度依存性及びμ_Hall-n特性）のいずれにおいても良いフィッティングが得られた．