[21a-C309-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

[21a-C309-9] PZT薄膜を用いたMEMS 1Dアレイ触覚ディスプレイ

〇高原 光將¹、ハズワニ ナシル¹、神田 健介¹、藤田 孝之¹、前中 一介¹ (1.兵庫県立大)

キーワード：PZT、MEMS、触覚ディスプレイ

近年のIoT社会の拡大に伴い、ウェアラブルデバイスの研究開発が極めて盛んである。我々はPZT薄膜/樹脂の積層構造体によって小型・軽量、低電圧駆動・低消費電力、そして大変形可能であるというウェアラブルデバイスにとって重要な要素を満たしたデバイスを作製した。この度、それらをアレイ化した触覚ディスプレイ作製のため、その先駆けとして1次元配列したデバイスによる触覚実験を行い知覚認識の変化を確認した。